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CN101226850B硅微机械压力开关、制作方法及其应用[caired.com-彩红网3D模型平面素材专利检索网站源码]-彩红网
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CN101226850B硅微机械压力开关、制作方法及其应用[caired.com-彩红网3D模型平面素材专利检索网站源码]

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摘要:本发明涉及硅微机械压力开关、制作方法及其应用。其特征在于所述的压力开关包括上下两个电极,两电极间有二氧化硅作为绝缘层进行隔离,上电极包括空气腔,硅弹性薄膜,节流孔,框架;下电极包括导流孔。其特征在于湿法腐蚀硅可同时形成空气腔和硅弹性薄...