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CN201438071U硅块干燥箱[caired.com-彩红网3D模型下载CG模型平面素材专利检索网站源码]

本实用新型公开了一种硅块干燥箱,设有箱体、箱盖,其特征在于:所述箱体为上开口,开口处设有上盖(12)和密封圈(11),设有一个控制该上盖开合的气缸(3),在箱体的内壁上和箱底设有电热板(6、8),箱体上还设有排气口(1)和进气口(7),所述排气口与真空泵连通,进气口与氮气源连通。在箱体上设有与箱体内部连通的真空压力开关(2)。在箱体内设有热电偶(5)。本实用新型适用于硅块清洗之后,对硅块进行干燥处理,实现完全自动控制,干燥快,效率高,效果好。
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技术领域

[0001] 本实用新型属于一种干燥设备,具体是用于硅块清洗之后,对硅块进行干燥处理

的设备。背景技术

[0002] 在硅片生产加工工艺中,需要对硅块进行清洗,清洗之后,要很快地进行干燥处理。现用的干燥设备就是普通的烘干箱,用这种烘干箱对清洗后的硅块进行烘干,速度慢,效率低,烘干的效果不理想,特别是不能在线生产。因此,需要提出一种使用方便,操作简便快捷,效率和效果更好的硅块干燥设备。

实用新型内容

[0003] 本实用新型的目的是为了解决上述技术问题,提出一种硅块干燥箱,该干燥箱,对硅块进行烘干,或进行其他干燥工艺的效率高,效果更理想,操作简便。

[0004] 本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:硅块干燥箱,设有箱体、箱盖,其特征在于:所述箱体为上开口 ,开口处设有上盖和密封圈,并设有一个控制上盖开合的气缸,在箱体的内壁上和箱底设有电热板,箱体上还设有排气口和进气口 ,所述排气口与真空泵连通,进气口与氮气源连通。

[0005] 在箱体上设有与箱体内部连通的真空压力开关。[0006] 在箱体内设有热电偶。

[0007] 本实用新型的工作过程:启动气缸打开上盖,放入工件,启动气缸关闭上盖,启动电热板加热,加热一段时间后,对箱体内抽真空,排出水蒸汽,待干燥后,向箱体内充氮气,真空压力开关检测到氮气充入后,启动气缸打开上盖,取出工件。

[0008] 本实用新型在干燥过程中对箱体抽真空,加速了干燥过程,充氮气开盖,实现完全自动控制,干燥快,效率高,效果好。

附图说明

[0009] 图1是本实用新型的结构示意图。具体实施方式

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