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CN1527300A圆片上图案的制作方法及其应用[caired.com-彩红网3D模型平面素材专利检索网站源码]

摘要: 本发明提供一种圆片上图案的制作方法,包括下述步骤:(1)加工带中心孔的圆片;(2)在圆片涂上光敏胶制成可刻录的光盘;(3)用光盘刻录机在可刻录的光盘上刻录出图案;(4)将刻录有图案的光盘显影。利用本发明方法可在带中心孔的圆片上任意制作出所需的图案,可用于成形形状较复杂、尺寸更细小的集成电路图案,精度高,质量稳定可靠;操作过程简单,非常便于实施;应用范围极其广泛,市场前景较好。
CN1527300A圆片上图案的制作方法及其应用[caired.com-彩红网3D模型平面素材专利检索网站源码]
专利类型:发明专利
申请/专利号:CN03146853.5
申请日期:2003-09-18
公开/公告号:CN1527300
公开/公告日:2004-09-08
主分类号:G11B7/26 G G11 G11B G11B7
分类号:[G11B7/26, G03F7/00]
申请/专利权人:周照耀
发明/设计人:周照耀
主申请人地址:510640广东省广州市天河区五山华南理工大学紫荆苑4栋404号
国别省市代码:广东;44
主权项:1、一种圆片上图案的制作方法,其特征在于包括下述步骤:(1)加工带中心孔的圆片;(2)在圆片涂上光敏胶制成可刻录的光盘;(3)用光盘刻录机在可刻录的光盘上刻录出图案;(4)将刻录有图案的光盘显影。
法律状态:无权

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